ナノシステム株式会社ホーム＞製品概要＞フルカラー外観検査システム

　　　インライン外観検査装置
　　　　　　ＮＳ３０００　インライン外観検査装置
　　　　　　　機械部品、FPC、実装基板、印刷物等のインライン検査



　　　基板外観検査装置
　　　　　　ＮＳ７０００　パッケージ基板外観検査装置
　　　　　　ＮＳ６０００　最終基板外観検査装置
　　　　　　ＮＳ５０００　実装基板外観検査装置
　　　　　　ＮＳ４０００　中間基板外観検査装置



　　　測長システム
　　　　　　ＮＳ１０００　測長システム




　　　高速処理と低価格を実現；基板１枚１秒検査を実現
　　　　高速処理ソフトと１画素欠陥検出ソフトの開発により、ＮＳ５０００、ＮＳ６０００は
　　　　基板１枚の検査を１秒で完了します。基板検査装置としては、業界最速の処理
　　　　速度と低価格を実現しました。
　　　　また、ＮＳ３０００は１視野０.１秒〜１秒（使用カメラの画素数により変化）と
　　　　高速処理が可能で、インライン検査に適しています。


　　　人工知能搭載による優れた欠陥識別能力
　　　　従来の外観検査装置に用いられてきた画像を直接学習する方式では、学習が
　　　　進むと擬似欠陥は減少しますが、同時に欠陥検出能力も落ちていきます。
　　　　特にパターン近傍の微小欠陥は殆ど見えなくなります。
　　　　当社が開発した人工知能を介した間接学習方式は、従来の方式に比べ、
　　　　学習の進行による欠陥識別能力の低下は殆ど無く、パターン近傍の微小欠陥も
　　　　検出できる優れた能力を持っています。また、擬似欠陥も殆ど生じません。


　　　検出感度を飛躍的に向上させたカラー欠陥検出システム
　　　　従来のモノクロ方式に比べると、カラー方式は欠陥検出能力が遥かに高く、
　　　　情報量比較では３倍の検出能力を持っていますが、擬似欠陥が増加する問題が
　　　　ありました。カラー検出方式による擬似欠陥の増加の問題を解決することにより、
　　　　従来のモノクロ方式では検出出来なかった欠陥も、検出できる様になりました。


　　　基板検査装置はリアルタイムベリファイ機能付
　　　　　カラー欠陥検出の特徴を生かし、欠陥のカラー画像拡大機能を付け、ベリファイ
　　　　機能を持たせました。これにより、従来の全自動検査機＋ベリファイステーション
　　　　システムより、遥かに安く、効率的に検査できるシステムを構築しました。


　　　基板検査装置には、オプションで測長機能を追加できます

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